炭化ケイ素セラミック (SiC) は、ケイ素と炭素を含む先進的なセラミック素材です。炭化ケイ素の粒子は焼結によって結合し、非常に硬いセラミックを形成します。 Semicorex は、お客様のご要望に応じてカスタム炭化ケイ素セラミックを供給します。
アプリケーション
炭化ケイ素セラミックでは、1,400°C を超える温度まで材料特性が一定に保たれます。 400 GPa を超える高いヤング率により、優れた寸法安定性が保証されます。
炭化ケイ素コンポーネントの一般的な用途は、ポンプや駆動システムなど、摩擦ベアリングやメカニカル シールを使用するダイナミック シール技術です。
炭化ケイ素セラミックは、その高度な特性により、半導体産業での使用にも最適です。
ウエハーボート →
Semicorex Wafer Boat は焼結炭化ケイ素セラミック製で、耐腐食性が高く、高温や熱衝撃に対する優れた耐性を備えています。高度なセラミックは、大容量ウェーハキャリアの粒子や汚染物質を軽減しながら、優れた耐熱性とプラズマ耐久性を実現します。
反応焼結炭化ケイ素
反応焼結は他の焼結法に比べ、緻密化工程における寸法変化が小さく、高精度な寸法の製品を製造することができます。しかしながら、焼結体中に多量のSiCが存在すると、反応焼結SiCセラミックスの高温性能が悪化する。
無加圧焼結炭化ケイ素
無加圧焼結炭化ケイ素 (SSiC) は、特に軽量であると同時に硬い高性能セラミックです。 SSiC は、極端な温度でもほぼ一定に保たれる高い強度が特徴です。
再結晶炭化ケイ素
再結晶炭化ケイ素(RSiC)は、高純度炭化ケイ素粗粉と高活性炭化ケイ素微粉を混合し、注入後2450℃で真空焼結して再結晶させた次世代材料です。
Semicorex は、OEM 半製造ツールやウェーハ処理コンポーネント向けに半導体グレードのセラミックを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社のセラミック アクスル スリーブは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex は、OEM 半製造ツールやウェーハ処理コンポーネント向けに半導体グレードのセラミックを提供します。当社は長年にわたり炭化ケイ素コーティング膜の製造・供給を行っております。当社の SiC アクスル スリーブは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の高度な高純度炭化ケイ素でコーティングされたコンポーネントは、ウェーハ取り扱いプロセスにおける極端な環境に耐えるように構築されています。当社の半導体ウェーハ チャックは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の超高純度セラミック コンポーネントは、次世代リソグラフィーおよびウェーハ処理アプリケーションに最適で、汚染を最小限に抑え、非常に長寿命の性能を提供します。当社のウェーハ真空チャックは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の半導体処理用耐久性フォーカス リングは、半導体処理で使用されるプラズマ エッチング チャンバーの極限環境に耐えるように設計されています。当社のフォーカス リングは、緻密で耐摩耗性の高い炭化ケイ素 (SiC) コーティングでコーティングされた高純度グラファイトでできています。 SiCコーティングは耐食性、耐熱性に優れ、熱伝導性にも優れています。フォーカス リングの耐用年数を向上させるために、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用してグラファイト上に SiC を薄層で塗布します。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex プラズマ処理フォーカス リングは、半導体産業におけるプラズマ エッチング処理の高い要求を満たすように特別に設計されています。当社の高度な高純度炭化ケイ素コーティングされたコンポーネントは、極限環境に耐えるように構築されており、炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などのさまざまな用途での使用に適しています。
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