半導体グレードの石英拡散管

石英ボート通常、高温で過酷な化学腐食の動作条件で使用されます。操作中、半導体ウェーハは石英ボートに配置され、石英拡散管に挿入されます。拡散管が必要な温度（摂氏数百度から数千度）に達すると、プロセスガス（O2、N2、H2、Arなど）とドーパントガス（POCl3、BBr3など）がガスポートを通じて石英拡散管に導入され、半導体ウェーハの酸化、拡散、アニールが行われます。さらに、拡散の均一性と精度を向上させるために、一部の拡散プロセスは低圧環境で実行する必要があります。 

高度な半導体製造プロセスでは、わずかなミスや欠陥が後続のプロセスの失敗につながる可能性があります。したがって、半導体製造の重要な部品である石英拡散管の品質は非常に重要であり、半導体デバイスの歩留まりと性能に直接影響します。

セミコレックスの仕様 半導体グレードのクォーツ

Semicorex の半導体グレードの石英拡散管は、高品質の材料から細心の注意を払って製造されています。半導体グレードの石英材料。 その具体的なパラメータは次のとおりです。

パラメータは顧客の要件に応じてカスタマイズできます。

Semicorex 半導体グレードの石英拡散管の性能

経験豊富な加工技術と信頼性の高い材料選択により、セミコレックスの半導体グレードが実現します。石英拡散管困難な動作条件下でも優れたパフォーマンスを発揮します。

1. 耐高温性能

Semicorexの半導体グレード石英拡散管は優れた耐高温性を実現し、1200℃までの高温環境下でも変形や破損なく安定して動作します。

2. 熱安定性能

Semicorex 半導体グレードの石英拡散管は、優れた熱膨張係数を誇り、簡単に亀裂や変形を起こすことなく、急速加熱または冷却中の熱応力に耐えることができます。

3. 耐薬品性能

Semicorex の半導体グレードの石英拡散管は、高温で過酷な腐食環境において優れた化学的不活性性を実現します。この性能により、プロセスガスとの反応によって生成される汚染物質がウェーハの品質に影響を与えることが大幅に防止されます。