石英のるつぼ

現在、石英のるつぼウェーハ製造業界で使用される結晶成長用の結晶成長装置は、3層の複合構造で構成されています。この 3 層構造により、結晶引き上げプロセス中にさまざまな程度の温度勾配の変化にさらされた場合でも、石英のるつぼはその形状と完全性を維持できます。従来の 2 層構造と比較して、3 層構造は機械的強度、熱管理、コスト効率が向上し、熱伝達特性が向上します。 

不透明層は石英るつぼの外層であり、多数の気泡が均一に分布しており、石英るつぼの均一な熱を確保するための保温効果があります。中央の真空透明層は気泡含有量が比較的低く、密度が均一で、変形しにくく、シリコン融液を気泡層から分離します。内側のコーティングは通常、高純度の合成石英でできています。石英るつぼでは、内側のコーティングに使用される石英の純度が厳しく要求されます。これは、引き出される結晶の品質が決まるからです。

セミコレックスが厳選した高品質石英汚染の抑制に貢献し、安定した結晶成長条件を保証します。

石英るつぼは、半導体および太陽光発電産業で広く使用されている中心的な消耗品です。シリコン融液と直接接触する唯一の成分であるため、その純度が品質とコストに影響を与えます。高純度、卓越した高温耐性、優れた熱安定性、優れた耐久性を備え、さまざまなサイズが用意されている Semicorex の Si 結晶成長用石英るつぼは理想的な選択肢です。