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PFAウェーハカセット
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PFAウェーハカセット

セミコレックスPFAウェーハカセットは、湿った加工、保管、輸送中に半導体ウェーハの安全で汚染のない取り扱いを確保するために設計された高純度のキャリアです。セミコレックスの選択は、優れたPFAの材料品質だけでなく、高度な製造環境で信頼性、清潔さ、長期パフォーマンスを提供する精密エンジニアリングも保証します。*

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製品説明

Semicorex PFAウェーハカセットは、高度な製造アプリケーションで半導体ウェーハを安全に処理、保存、転送するように設計されたエンジニアリングキャリアです。これらのカセットは、高純度のパーフルオロアルコキシ(PFA)ポリマーから構成されており、濡れた洗浄、化学処理、ウェーハ輸送用途に必要な耐薬品性、熱安定性、機械的耐久性を示します。ウェーハは、半導体製造プロセスの重要なウェーハ輸送ステップにおける汚染、機械的損傷、および化学攻撃から保護されたままです。


これらのウェーハカセットの主要な材料としてのPFAの使用は、従来のポリマーキャリアからの大きな変化です。 PFAは、通常、半導体の製造に関連する濡れたプロセス洗浄ステップ(つまり、RCA洗浄、SC1、SC2)で一般的な多くの攻撃的な酸、塩基、および溶媒に対して優れた耐性を持っています。 PFAの化学的不活性により、ウェーハはキャリア自体から漏れている汚染にさらされないようにするため、プロセスの完全性の欠如から欠陥は生じません。さらに、高温に耐えることができるため、カセットは、安定した信頼性の高いパフォーマンスを備えた高温の化学浴または高温の超純水すすぎを含むプロセスをサポートできます。



PFAウェーハカセット粒子の順守を最小限に抑え、洗浄を可能にするために無数の精度の滑らかな表面で設計されています。ウェーハカセットは、サブミクロンの汚染でさえ収量の損失またはデバイスの故障をもたらす可能性のある今日のファブで高い清潔さレベルを達成します。滑らかな内部輪郭のタイプは、繊細なウェーハ表面の引っ掻きを減らし、湿った処理後に液体の整然とした排出を可能にし、化学物質の残留物のスラリーが残りまたはウェーハに触れないようにしますが、プロセスの一貫性と洗浄の努力の必要性が低下します。


PFAウェーハカセットの追加の大きな利点は、寸法の精度と構造安定性です。カセット製造プロセスには、通常予想されるよりも緊密な許容範囲が必要です。これにより、カセットは、転送中にウェーハの不要なシフトまたは不要な接触がないようにウェーハをしっかりと保持できます。カセットは、手動処理用であろうと自動化されたウェーハ輸送システム中であろうと、位置または特徴的な一貫性です。 PFAウェーハカセットは、業界標準のウェーハの取り扱いおよび輸送システムに関連する標準的な物理的ブレイクアウトに正確に適合します。 PFAウェーハカセットに関連する長くて有用なサービスの信頼性は、PFAが繰り返し化学、熱サイクリング、および機械的曝露の後に再利用することに耐えることができるため、投資の価値を高めます。


PFAウェーハカセットは、ウェット化学処理だけでなく、ウェーハを保護するためだけでなく、貯蔵と輸送のための貴重な資産です。それらは、冷却プロセス中にウェーハをきれいに保つために不活性材料で構築されており、それらの耐久性はパッケージングと輸送からの破損とエッジチップを制限するはずです。 PFAウェーハカセットは、半導体ファブ、研究室、太陽光発電の製造、および高い純度ウェーハの取り扱いを必要とする他の産業にとって重要です。


PFAウェーハカセットまた、使用ごとに有利な持続可能性とコストをもたらします。建築材料は、化学攻撃に復元され、洗浄が簡単で、再利用可能であり、廃棄物と使い捨てを下げ、長期的な運用費用を削減するために繰り返し使用を促進します。汚染があるときにウェーハの一般的な内訳に注目すると、汚染イベントの減少、ウェーハの損失は収量を増加させ、欠陥性を低下させます。収量の損失とキャンバスの欠陥の増加は、半導体製造業の競争力に関するオントロジーの主要な要因です。


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