グラファイトボートのコア技術を紹介

Graphite Boat は業界の技術革新の最前線に立っており、性能、純度、寿命を向上させるために設計された一連の画期的な進歩を特徴としています。以下では、グラファイト ボートの卓越性を定義するコア テクノロジーについて詳しく説明します。

先駆的な二次精製プロセス:

グラファイトボートは、業界初の二次精製プロセスを備えているため、他とは一線を画しています。この革新的な技術は、素材の純度を直接高めます。長期間の動作条件にさらされた場合でも、グラファイトボートの各点の電気抵抗率は一貫して驚くほど均一に保たれます。この均一性により、信頼性の高い均一な電流分布が保証され、コーティングの色の不一致が減少し、同時にグラファイトボートの酸化が効果的に減速されます。これは、動作寿命の延長に大きく貢献します。

C コーティング表面技術:

グラファイトボートに採用されているCコーティング表面技術は、大きな進歩を表しています。このプロセスにより、ボートのページの平坦性と滑らかさが向上します。その結果、グラファイトボートのページとシリコンウェーハの間の接触面積が大幅に増加します。この接触面積の拡大により、飽和レベルが向上するだけでなく、継続使用でも寿命の延長にも貢献します。 C コーティングの細心の注意を払った塗布により、ボートの表面は優れた平坦性と清浄性を維持します。

バランス処理技術:

グラファイトボートの耐久性の核心はバランス加工技術です。この方法は、グラファイト ボートのスライス内の内部応力を除去するために細心の注意を払って適用されます。そうすることで、グラファイトボートは長期の運用シナリオでもボートが変形しにくくなります。バランス処理技術は、熱膨張を 80% 以上大幅に低減することでこれを実現します。これはボートの構造的完全性に貢献するだけでなく、長期間にわたる性能の信頼性も向上します。

要約すると、グラファイト ボートの高度な技術により、グラファイト ボートは業界のリーダーとしての地位を確立しています。優れた純度、長寿命、一貫した性能への取り組みにより、幅広い用途に理想的な選択肢となり、グラファイトボートの分野における技術的驚異としての地位を確固たるものとしています。