炭化ケイ素静圧滑り面とは何ですか？

炭化ケイ素気力静力スライドウェイは、炭化ケイ素の材料特性と気力静力技術を組み合わせた高度なガイドウェイ システムです。炭化ケイ素静圧滑り面は、高精度、高信頼性、長期にわたるモーションシステムの最適なソリューションとして、最先端の製造分野や科学研究機器などの分野で広く使用されています。

材料の観点から見ると、高性能炭化ケイ素材料は、一連の素晴らしい固有の特性に依存して、並外れた安定性を示します。これらの特性には、特に、高剛性、強力な化学的安定性、超低熱膨張係数、優れた耐摩耗性および優れた耐食性が含まれており、そのすべてが最先端の製造分野における幅広い用途に好ましい材料となっています。高純度の炭化ケイ素から製造された炭化ケイ素静圧滑り面は、前述の材料の利点を本質的に継承しており、複雑で過酷な動作条件下でも安定した動作を可能にします。

炭化珪素静圧摺動面は構造的に非接触構造を採用しています。炭化ケイ素空気静圧滑り面は、ガスハイブリッド静圧および流体力学効果を利用することにより、摩擦や振動のないスムーズな動きを実現します。精密加工を施し、優れた真直度、平面度仕様を発揮します。この精度と非接触操作の組み合わせにより、摩擦係数が極めて低くなり、機械的摩耗のリスクが効果的に最小限に抑えられます。装置の長期にわたる高精度の動作を維持するために、炭化ケイ素空気静圧スライドウェイにはグレーティングスケール閉ループフィードバックシステムが装備されており、高精度の変位位置決めを保証します。これらの独創的な設計により、炭化ケイ素空気静圧スライドウェイの耐用年数が大幅に延長され、機器のメンテナンスのコストが大幅に削減されます。

炭化ケイ素気力静圧滑り面の応用シナリオ

1. 半導体製造：フォトリソグラフィー装置、三次元測定機、パネル検査装置、光処理装置、電池製造装置などのウエハステージの位置決めに使用されます。

2. 精密測定: 三次元測定機、位置ターンテーブルに使用されます。

炭化ケイ素気力静力スライドウェイは、炭化ケイ素の材料特性と気力静力技術を組み合わせた高度なガイドウェイ システムです。炭化ケイ素静圧滑り面は、高精度、高信頼性、長期にわたるモーションシステムの最適なソリューションとして、最先端の製造分野や科学研究機器などの分野で広く使用されています。

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