横型ウエハカセット

材料特性

Semicorex 横型ウェーハ カセットは、半導体業界において、生産のさまざまな段階でウェーハを保護および取り扱うための重要なツールです。ウェーハキャリアとも呼ばれるこれらのカセットは、同じサイズのウェーハを複数枚保持して移動できるように設計されています。熱処理などの特定のプロセス要件を満たすことで、さまざまな製造条件で優れたパフォーマンスを保証し、幅広い材料で利用できます。

さまざまな素材の選択

横型ウェーハカセットには、半導体製造の多様な要件を満たすさまざまな高性能素材が用意されています。これらには、PVDF、ECTFE Halar、PFA テフロン、PTFE テフロンなど、優れた耐薬品性と熱安定性が備わっています。機械的強度と耐腐食性の向上が必要な用途には、304L や 316 などのステンレス鋼のオプションをお勧めします。天然ポリプロピレンも経済的で軽量な特性を備えているため使用されており、ウェーハ取り扱い手順の完全性を維持しながら柔軟な用途が可能になります。

先進のデザインの特長

特定の運用要件に合わせて調整できる特性を備えた水平型ウェーハ カセットは、丹念に製造されています。これらは、側面開口部のプロファイル、基板の接触点、基板のピッチと間隔、および変更可能なサイズと形状で構成されます。基板の向きの多様性と、さまざまな基板サイズを処理できる能力によって、さまざまなプロセスでの適応性が高まります。さらに、利便性を高めるための取り外し可能なハンドルなどの自動化機能やカセット処理機能をこれらのカセットに追加できます。

アプリケーション

半導体製造では、さまざまな手順でウェーハを安全かつ効果的に取り扱うことを保証するために、水平ウェーハカセットの使用が不可欠です。

横型ウェーハカセットは頑丈で高品質の素材で作られており、半導体環境における 2 つの主要な問題である物理的損傷と汚染に対する強力な防御を提供します。カセットの構造は、汚染物質への曝露を軽減することにより、保管および輸送中に壊れやすいウェーハを保護します。

洗浄と乾燥の向上

水平型ウェーハカセットの設計における大きな開口面積により、より良い洗浄と乾燥の結果が可能になります。この特性はウェーハの清浄度を維持するために非常に重要であり、欠陥の可能性を減らし、完成した半導体デバイスの品質を向上させます。

化学薬品の流れと処理の効率

材料トラップスポットを最小限に抑え、化学物質のフロースルーダイナミクスを最大化するために、水平ウエハカセットが設計されています。化学薬品の流れを改善し、化学薬品槽での完全な適用範囲と効率的な処理を保証するために、多くの追加機能を追加できます。

ウェーハの安全な輸送と位置合わせ

水平ウェーハカセットの設計は、正確なウェーハの位置合わせを特徴としており、輸送中にウェーハが所定の位置にしっかりと維持されることが保証されます。これにより、高価な欠陥やプロセスの遅延につながる破損や位置ずれの可能性が低くなります。半導体製造プロセスの完全性を維持するには、ウェーハの取り扱いを安全に行う必要があります。

ワークフローと人間工学の効率化

横型ウェーハカセットは人間工学に基づいた設計により使いやすく効率的であり、ロードとアンロードの手順を合理化します。クリーンルーム設定では、この使いやすさによりワークフローの効率が向上し、より効率的なプロセスと処理時間の短縮が可能になります。半導体メーカーは、これらの手順を簡素化することで効率を高め、厳格な清浄度基準を守ることができます。