溶融石英炉管

融合石英炉管通常、石英ボート、リアクター、ヒーター、石英バッフルなどの必須コンポーネントとともに、ウェーハの高温処理領域を形成します。製造中、ウェーハは石英ボートに入れられ、拡散、酸化、アニーリングなどのプロセスのために炉管に搬送されます。これらのプロセスの重要な部分として、溶融石英炉管は半導体または太陽光発電製品の品質と歩留まりに直接影響を与えます。

Semicorex の溶融石英炉管は、信頼性の高い性能と品質に基づいて、これらのプロセスの動作環境に長期間耐えることができます。 Semicorex 溶融石英炉管を使用すると、長期間の繰り返し使用後の石英炉管のひどい変形や崩壊によって引き起こされる最終製品の損傷のリスクを大幅に軽減できます。

Semicorex 溶融石英炉管の利点

1. 優れた耐高温性

石英ガラス軟化点は約1730℃です。 Semicorex 溶融石英炉管は、1100 °C ～ 1200 °C での長期運転をサポートし、さらに高い温度に対する短期耐性も備えています。

2. 優れた熱安定性

半導体グレードの石英素材は熱膨張係数が非常に低いため、亀裂や損傷を与えることなく高温から室温まで急速に冷却できます。

3. 強い耐薬品性

Semicorex の溶融石英炉管は、強力な耐化学腐食性を備えています。フッ酸、熱リン酸を除き、酸、アルカリ、塩などの化学薬品とはほとんど反応しません。

4. 優れた光透過率

高純度石英は紫外から赤外まで優れた透過率を示し、可視域で93％以上の光線透過率を実現しています。この優れた光学性能により、Semicorex 溶融石英炉管は、光学モニタリングまたは紫外線処理を必要とするプロセスに適した選択肢となります。

Semicorex 溶融石英炉管の用途

1. 半導体製造における拡散、酸化、アニールのプロセスで使用されます。

2. 太陽光発電産業の製造における高温反応容器で使用

3. 分光計の窓、レーザースリーブ、紫外線光学システム、その他の光学用途の製造に使用されます。