るつぼサポートトレイ

高温の半導体製造では、安定した結晶品質を確保するために安定性と精度が非常に重要です。 Semicorex るつぼサポート トレイは、極端な熱的および機械的条件下で信頼性の高い基盤を提供することにより、結晶成長プロセスの完全性を維持する上で重要でありながら見落とされがちな役割を果たします。

るつぼサポート トレイ、別名カーボン/カーボン (C/C)るつぼホルダーは、単結晶シリコンの成長中に石英またはグラファイトるつぼをサポートするように特別に設計されています。熱場の基部に配置されるこのコンポーネントは、構造の完全性と寸法安定性を維持しながら、高温への長時間の曝露に耐える必要があります。その堅牢な設計により、プロセス全体を通じてるつぼが確実に位置決めされ、結晶の品質に悪影響を与える可能性のある振動、変形、位置ずれが最小限に抑えられます。

C/Cサポートトレイの役割

単結晶シリコンの成長中、温度は 1400°C を超えることがよくあります。従来のグラファイト材料は有用ではありますが、溶融シリコンの重い重量の下での寿命や変形に関して課題に直面することがよくあります。当社の C/C 複合るつぼサポート トレイは、これらの問題点を解決します。

高強度の炭素繊維強化マトリックスを利用することにより、このトレイは「ほぼゼロ」の熱膨張プロファイルと優れた耐荷重能力を提供します。これはるつぼと回転シャフトの間の境界面として機能し、完全な水平面を維持して溶融物の乱流や結晶欠陥を防ぎます。

技術仕様と優れた材料

密度: ≥ 1.3 g/cm3

曲げ強さ: ≥ 110 MPa

熱膨張係数 (CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

圧縮強度: ≥ 160 MPa