カーボンカーボン複合材フローガイド

カーボンカーボン複合材フローガイドは通常、単結晶成長炉内のるつぼの上に配置されます。これらは、ヒーター、るつぼ、断熱シリンダーなどのコンポーネントと連携して、単結晶シリコンの成長に必要な理想的な熱場を構成します。

炭素-炭素複合材料マトリックスとして炭素を使用し、補強材として炭素繊維とその織物を使用し、化学蒸着 (CVD) と黒鉛化を組み合わせて製造します。この精密な製造プロセスにより、カーボンカーボン複合材フローガイドの緻密な構造と均一な組成が実現され、安定した性能が確保され、単結晶シリコン引き上げ炉での連続マルチバッチ使用の要件を満たします。

この複合構造により、低密度、高比弾性率、強力な耐摩耗性、優れた高温耐性などのカーボンカーボン複合材の顕著な特性が得られます。これらの優れた複合材の外形と材料特性に基づいて、カーボンカーボン複合材フローガイドは、単結晶シリコン開発作業全体を通じて炉内で一貫したガス分布を導くことができます。一方、カーボンカーボン複合材料フローガイドは、熱を遮断して熱損失を防ぎ、必要な温度勾配を生成することもできるため、最適な熱条件下で単結晶シリコンを成長させることができます。

セミコレックスは、提供された図面に基づいてカスタマイズされたサービスを受け入れます。外形、寸法公差、中核機能に関連する仕様など、当社の技術チームはお客様の作業条件に合わせてカーボンカーボン複合材フローガイドをカスタマイズできます。当社のプレミアムカーボンカーボン複合フローガイドは、高温で腐食性の高い単結晶シリコン成長プロセスにおいて、かけがえのない応用価値を持っています。単結晶シリコンの成長に必要な安定したガス環境を提供できるため、シリコンインゴットの品質と生産効率が大幅に向上します。