C/C複合るつぼサポートロッド

C/C 複合材るつぼ支持ロッドは通常、高温単結晶成長炉の下部領域に配置され、以下のような不可欠なコンポーネントを備えた単結晶シリコン成長のための効率的で安定した熱場システムを形成します。C/Cるつぼホルダー、C/CるつぼそしてC/C絶縁シリンダー。るつぼと内部の溶融シリコンを安定してサポートし、単結晶シリコン成長の要件を満たすためのるつぼの正確な回転と持ち上げを実現できます。

1.優れた熱性能

カーボンカーボン複合材は優れた耐熱性と熱安定性を誇るため、Semicorex C/C 複合材るつぼサポートロッドは 1600 ～ 2200℃ の温度範囲で確実に動作し、簡単に亀裂や損傷を受けることなく、急激な温度変化に耐えることができます。

2.安心の機械的強度

カーボンカーボン複合材料は高い機械的強度と弾性率を備えており、高温動作条件下ではその強度が室温での強度を超える場合もあります。 Semicorex C/C コンポジットるつぼサポート ロッドが、るつぼの重量や内部の大量のシリコン材料に耐えることができるのは、まさにこの信頼性の高い特性のおかげです。

3.軽量構造

炭素-炭素複合材料従来の黒鉛材料よりも密度が低いため、従来の黒鉛材料よりも大幅に軽量になります。 Semicorex C/C 複合材るつぼサポートロッドの総重量は、この優れた軽量構造のおかげで大幅に軽量化され、装置の取り扱い、交換、メンテナンスが容易になります。

4.優れた耐食性

単結晶シリコンの成長中に、シリコン蒸気が単結晶シリコン成長炉内の部品を腐食する可能性があります。カーボンカーボン複合材はシリコン蒸気腐食に対して優れた耐性を示すため、Semicorex C/C 複合材るつぼサポートロッドは、高温およびシリコン蒸気条件下でも安定した構造的完全性と一貫した性能を維持できます。