SiCボートとは何ですか?またその製造プロセスは何ですか?

1. さまざまな製造プロセスSiCボート

(1) の層をコーティングするSiC膜グラファイトの表面にクリスタルボートCVDによる

このタイプのボートには、一体的に機械加工されたグラファイトコアが付いています。しかし、グラファイトは多孔質です粒子が発生しやすいため、SiC膜コーティングその表面に。グラファイト本体と熱膨張係数 (CTE) の不一致により、SiC膜、複数回の加熱と冷却のサイクル後にコーティングが剥がれる可能性があり、粒子汚染につながります。これらのボートは最も安価で、寿命は約 1 年です。

(2) の層をコーティングするSiC膜再結晶化したものについてSiCクリスタルボート

再結晶化SiCボートまた、多孔質なので粒子が発生しやすいです。したがって、再結晶化された結晶の個々の成分は、SiCボート事前に成形、焼結し、その後個別に機械加工する必要があります。その後、Si ペーストを使用して部品を高温で接合します。一つの船に組み立てられると、SiC膜CVDによって適用されます。これが再結晶化したSiCボート製造工程が最も長くコストがかかるが、表面はCVDコーティング損傷する可能性もあり、寿命は約 3 年です。

(3)モノリシックSiCクリスタルボート

これらボートすべてSiC素材で構成されています。 SiC 粉末はモノリシック ボートの形状に成形および焼結する必要があります。非常に高価ですが、耐久性が高く、粒子が発生しにくいです。ただし、これらのボートには 10 ～ 15% の遊離シリコンが含まれており、フッ素や塩素による浸食を受けやすく、粒子汚染につながります。

2. なぜドライクリーニングが推奨されないのですか?

要約すると、SiCボートでコーティングされたCVDによるSiC膜、ドライクリーニング時に表面コーティングが剥がれやすく、パーティクル汚染の原因となります。モノリシック用SiCボート遊離シリコンが少量含まれているため、フッ素または塩素を含むガスにさらされると浸食や粒子の発生が起こり、汚染が引き起こされる可能性があります。**