半導体用途における石英製品

半導体業界では石英が広く使用されており、高純度石英製品はウェーハ製造においてさらに重要な消耗品です。シリコン単結晶るつぼ、結晶ボート、拡散炉芯管、その他の石英コンポーネントの製造には、高純度の石英ガラス製品を使用する必要があります。半導体分野の石英部品は、ウェーハファウンドリの拡散およびエッチングプロセスの主なターゲット市場アプリケーションであり、高温ゾーンデバイスと低温ゾーンデバイスの2つのカテゴリに分けることができ、主に使用されるデバイスは次のとおりです。

1) 高温ゾーンのデバイスは主に拡散酸化であり、ファーネスチューブ、ガラスボートラックなどの使用の他の側面は、シリコンウェーハと直接的または間接的に接触する高温環境にある必要があります。主に熱加工により製造される電融石英ガラス素材の調達。

2) 低温ゾーン装置は、主に石英リングなどのエッチングリンクですが、主に低温環境で使用される洗浄プロセスバスケット、洗浄タンクなども含まれます。主にガス精製石英ガラスを購入し、冷間加工で生産

このうち、高温ゾーンのデバイスは消費が速くなりますが、マルチチップマシン（複数のウエハを搬送するベアラ）と同様に、低温ゾーンのデバイスは消費が遅くなりますが、モノリシック（ウエハを搬送するベアラ）です。 ;したがって、2 つの全体的な市場規模は比較的近いものになります。