半導体産業における炭化タンタルコーティング

高出力の青色 LED と UV LED の開発により、フルカラー LED TV ディスプレイだけでなく、白色 LED の自動車用照明や家庭用照明の作成も可能になりました。これらの LED は窒化ガリウムをベースにしており、MOCVD プロセスを使用して CVD SiC コーティングされたグラファイト サセプタによって支持された基板ウェーハ上に堆積されます。ただし、SiC コーティングはプロセスで使用されるアンモニア ガスによって攻撃され、その寿命が短くなります。コーティングの寿命を延ばし、全体的なコストを削減するために、業界はより不活性な新しいコーティング オプションを必要としています。炭化タンタルは、この攻撃的な雰囲気に対する耐性を大幅に強化し、現在利用できない解決策を提供できるため、代替品として検討されています。 Semicorex は、CVD TaC コーティングされたグラファイト部品を半導体業界のサプライヤーに販売しています。

当社のTaCコーティンググラファイト製品は、SiCコーティンググラファイト製品と比較して優れた耐熱性で知られています。そのため、高温で使用されるSiCウェーハのエピタキシャルプロセスなどの半導体プロセスで広く使用されています。市場の成長に伴い、当社製品への需要も高まっています。

Semicorex は、カスタマイズされたサービスを備えた高品質の TaC コーティングされたグラファイト部品を提供します。ご質問がある場合、または詳細が必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。

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