カンチレバーパドルとは何ですか?

半導体ウェーハの処理中、ウェーハを加熱するために特殊な炉が使用されます。これらの炉には細長い円筒管が含まれており、そこでウェーハがウェーハ ボート上の所定の等距離位置に配置されます。処理装置がウェーハを無駄にしないように、またチャンバー内の処理条件に耐えられるように、ウェーハ処理に使用されるウェーハボートやその他のデバイスは炭化ケイ素 (SiC) などの材料で製造されています。

処理対象のウェーハのバッチを搭載したウェーハ ボートは、長い片持ち梁のパドル上に配置されます。これらのパドルは、管状炉および反応器に挿入したり、管状炉や反応器から引き抜いたりすることができます。パドルは、1 隻または複数のボートを保持できる平坦なキャリア セクションと、取り扱いを容易にするために平坦なキャリア セクションの一端にある長いハンドルで構成されています。

半導体プロセスで最適なコンポーネントを得るには、CVD SiC 薄層を備えた再結晶炭化ケイ素で作られたカンチレバー パドルを使用することをお勧めします。この材料は高純度であり、このようなコンポーネントに最適です。

Semicorex は、高品質の CVD SiC コーティングを施したカスタマイズされたカンチレバー パドルを製造します。ご質問がある場合、または詳細が必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。

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