TaCコーティング

TaCセラミックスは融点が3880℃と高く、硬度が高く（モース硬度9～10）、熱伝導率が大きい（22W・m）^-1・K⁻¹）、曲げ強度が大きく（340～400MPa）、熱膨張係数が小さい（6.6×10^-6K-1）、優れた熱化学的安定性と優れた物理的特性を示すため、TaC コーティングは航空宇宙の熱保護に広く使用されており、グラファイトおよび C/C 複合材料は良好な化学的適合性と機械的適合性を備えています。 ）、優れた熱化学的安定性と優れた物理的特性を示し、グラファイトとC/C複合材料は良好な化学的適合性と機械的適合性を備えているため、TaCコーティングは航空宇宙の熱保護、単結晶成長、エネルギーおよびエレクトロニクス、医療機器などで広く使用されています。 TaC被覆黒鉛は裸黒鉛やSiC被覆黒鉛に比べ耐薬品性に​​優れ、2600℃の高温でも安定して使用できます。 2600°の高温安定性、および多くの金属元素が反応しないことは、コーティングの最高のパフォーマンスにおける第3世代の半導体単結晶成長およびウェーハエッチングシナリオであり、温度と不純物制御のプロセスを大幅に改善し、高品質のコーティングの準備を可能にします。 -高品質の炭化ケイ素ウェーハおよび関連エピタキシャルウェーハ。特にGaNやAlN単結晶を成長させるMOCVD装置やSiC単結晶を成長させるPVT装置に適しており、成長した単結晶の品質が大幅に向上します。

研究結果によると、TaC コーティングは、グラファイト部品の寿命を延ばし、半径方向の温度均一性を改善し、SiC 昇華の化学量論を維持し、不純物の移行を抑制し、エネルギー消費を削減するための保護層および隔離層として機能します。最終的には、TaC コーティングされたグラファイトるつぼセットにより、SiC PVT プロセス制御と製品品質が向上すると期待されています。