ウェーハのノッチとは何ですか?

ウェーハノッチとは、ウェーハの端にある V 字型または U 字型の溝です。半導体ウエハ。これは製造プロセス中に発生する欠陥とは程遠く、意図的に設計された重要な構造マーカーであり、その中心的な機能はウェーハの正確な位置決めと方向の識別を可能にすることにあります。ウェーハ フラットは、ウェーハ技術開発の初期段階で方向マーキングとして使用されました。しかし、ウェーハサイズが徐々に大きくなるにつれて、フラットエッジ設計がより多くの有効面積を占めるようになり、徐々によりコンパクトなノッチに置き換えられました。

ウェーハのノッチの機能は何ですか? 

チップの製造はナノメートルスケールのプロセスであり、方向のずれが回路の故障につながる可能性があります。ウェハ ノッチは方向のマーキングとして機能するため、リソグラフィーおよびエッチング機がウェハの結晶方向を迅速に識別できるようになり、各プロセス ステップの正確な位置合わせが保証されます。各チップは、本初子午線と同様に、ノッチに従ってウェーハ上に配置されます。この独創的な設計により、ノッチを基準データとして回路パターンをリソグラフィーしてレイアウトすることができます。さらに、ロボットアームは、高度に自動化された生産ラインでウェーハのノッチを利用してウェーハの表裏と向きを識別するため、誤操作によるウェーハの損傷やプロセスエラーを大幅に防止します。ノッチが汚染または損傷した場合、ウェーハ全体が不適合として拒否される可能性があります。

ウェハのノッチは、チップの製造歩留まりを向上させる上でも重要な役割を果たします。ウェーハのエッジは製造中にスリップ ラインや亀裂などの欠陥が発生しやすいため、ノッチを介して正確に位置決めすることで、装置がこれらの欠陥領域を正確に回避できるようになり、無駄が削減されます。最新の生産ラインでは、エッジファインディング作業のためにエアサスペンション回転などの技術も採用されています。非接触検出のマーカーとして機能するウェーハノッチは、機械的接触による汚染を回避するだけでなく、識別効率と精度も向上します。

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