セラミック真空チャック

セラミック真空チャック均一な細孔サイズ分布と内部相互接続を備えた多孔質セラミック材料で作られています。研削後の表面は滑らかで繊細で、平坦度も良好です。これらは、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素などの半導体ウェーハの製造に広く使用されています。

多孔質セラミックス真空チャックは、真空吸着の原理を利用してワークを固定する台です。チャックの真空搬送部分は多孔質セラミック板で、ベースの皿穴にフィットします。その周囲は、精密なセラミックまたは金属で作られたベースに接着および密封されています。金属やセラミックのベースと特殊な多孔質セラミックを組み合わせ、内部の空気通路を緻密に設計することでチャックに負圧を与え、ワークをスムーズかつ確実にチャックに装着します。

セラミック真空チャックと従来の金属チャックの比較

従来の金属チャックは吸着力が不均一で、薄い材質では変形しやすく、帯電防止性に欠け、硬度が低いため摩耗しやすいという欠点がありました。一方、セラミック真空チャックは薄い部品に適しており、帯電防止特性があり、耐摩耗性と耐腐食性があります。

の構造セラミック真空チャック

真空吸盤は通常、本体とベースの 2 つの部分で構成されます。本体は多孔質セラミックディスクであり、これが主な機能領域です。通常、多孔質炭化ケイ素、多孔質アルミナ、その他の材料などの多孔質セラミックスで作られています。異なる材料と純度は異なる色に対応します。内部に空気圧を加える通路設計があり、チャック表面に負圧が発生し、対象物を吸着します。ベースは主に本体を支えるために使用されます。多孔質セラミックスはその材質の特性上、比較的脆く割れやすい性質があります。ベースを追加するとチャックの使用に有利になります。ベースは通常、ステンレス鋼、アルミニウム合金、アルミナ、炭化ケイ素セラミックスなどで作られています。材質が異なると平面度や重量も異なります。

セミコレックスは高品質を提供しますカスタマイズされた真空チャック。ご質問がある場合、または詳細が必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。

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