シリコン炭化物ウェーハボート

ウェーハ製造のすべての高温プロセスの背後には、静かでありながら重要なプレーヤー、ウェーハボートがあります。ウェーハ処理中にシリコンウェーハに直接接触するコアキャリアとして、その材料、安定性、および清潔さは、最終的なチップの収量とプロセスの安定性に直接関連しています。さまざまなキャリア材料の中で、炭化シリコン（原文）ボートは、従来のクォーツソリューションに徐々に置き換えられており、高度なプロセスとハイエンド機器に適したソリューションになります。

なぜSICウェーハボート？

プロセスノードの7nm未満の進歩と高温プロセスウィンドウの拡張により、従来のクォーツウェーハボートは、熱安定性、粒子制御、寿命管理の点でますます苦労しています。

ただし、炭化シリコンウェーハボートは、次の利点のために徐々に顕著になっています。

1.高温での安定：

彼らは1350-1600°Cの長期動作温度を提供し、CVD、拡散、アニーリングなどの主流のプロセスを簡単に処理します。 1800°Cの温度への短い曝露でさえ、軟化や変形がないため、単結晶炭化物炉などのハイエンド機器に適しています。

2.低膨張と高い熱衝撃安定性：

熱膨張係数が低いため、急速な温度の上昇と低下に耐えることができ、熱応力によって引き起こされる構造亀裂が最小限に抑えられます。それらは、高温の複雑な大気（水素、窒素、アンモニア、フッ化物など）で優れた形態と性能を維持しています。

3.表面と非常に低い汚染：

最小限の金属不純物を備えた高い材料純度。低表面の粗さ、シリコンウェーハの二次汚染を防ぐ。 RAが0.1μm未満の優れた表面粗さコントロールは、粒子の脱落を抑制し、高度なプロセスのクリーンルームの要件を満たしています。

4。ワンピースモールディング、精密にマシンされたウェーハボート構造は、カチ類語で直接形成できます3D印刷、金型の必要性を排除し、カスタマイズ効率を大幅に改善します。 5軸の機械加工とワイヤーカット技術と組み合わせることで、ボートの歯はburrがないため、ウェーハの傷を防ぎ、スムーズな自動処理を確保します。

5。高強度と長寿命： 

単一のボートは、高い負荷を帯びた強度を誇っており、同時に数十から数百の12インチウェーハをサポートできます。従来のクォーツボートと比較して、ボートの平均寿命は5〜10倍長く、機器の切り替え頻度と総所有コストが削減されます。

アプリケーションシナリオ

の幅広い適応性シリコン炭化物ウェーハボート半導体フィールドを越えてアプリケーションを、新しいエネルギー材料、LED製造、原子力エネルギー研究など、さまざまな高温プロセスシナリオに拡張します。

半導体産業

これは、酸化、拡散、CVD堆積、イオン移植などの重要なプロセスに適しているため、サブ7NMプロセスラインに不可欠な高温キャリアになります。

太陽光発電産業

TopconやHJTなどの新たなバッテリー技術では、LPCVDやアニーリングなどの高温炉プロセスでウェーハボートが使用され、エネルギー効率と変換率の向上に役立ちます。

第3世代の半導体

LEDのGANおよびSICエピタキシャル成長プロセスについては、サファイアまたはシリコン炭化物基板をサポートしています。彼らは、NH₃やHClなどの腐食性ガスに耐え、高周波電力装置の製造をサポートしています。

新しいエネルギー材料と研究高温プラットフォーム

リチウムバッテリーカソード材料の焼結反応と、耐熱性、腐食抵抗、清潔さを組み合わせた原子力産業材料の熱処理をサポートします。

Semicorexは高度を提供しますカスタマイズされたSICウェーハボート。お問い合わせがある場合、または追加の詳細が必要な場合は、お気軽にご連絡ください。

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